Analyzátor infračervené spektroskopie s Fourierovou transformací (FTIR) se používá v průmyslu výroby polovodičů FTIR je přístroj pro spektrální analýzu, který využívá infračervenou spektroskopii k analýze koncentrace nečistot pomocí Fourierovy transformace. Spektrometr se skládá hlavně ze zdroje světla (křemíková uhlíková tyčinka, vysokotlaká rtuťová výbojka), Michelsonova interferometru, detektoru a interferometru
Infračervené světlo vyzařované zdrojem infračerveného světla S je kolimováno do paralelního infračerveného paprsku a vstupuje do interferenčního systému. Po nastavení interferometrem se získá paprsek interferenčního světla. Rušivé světlo prochází vzorkem Sa, aby získalo interferenční signál obsahující spektrální informaci, která dosáhne detektoru D a poté je D přeměněna na elektrický signál. Rušivý signál je zde časovou funkcí, což je interferenční obrazec nakreslený interferenčním signálem. a jeho vodorovná osa je doba pohybu nebo vzdálenost pohybujícího se zrcadla. Tento interferenční obrazec je odeslán do počítače přes A/D převodník a počítač provádí rychlé výpočty Fourierovy transformace, aby získal infračervené spektrum s vlnočtem jako horizontální osou. Poté je odeslán do plotru přes D/A převodník, aby se nakreslilo velmi známé standardní infračervené absorpční spektrum.
